氣體質(zhì)量流量控制器工作原理
氣體進(jìn)入進(jìn)氣管道接頭后大部門(mén)流量流過(guò)分流器通道,其中很小一部門(mén)進(jìn)入傳感器內部的毛細鋼管。因為分流器通道的特殊結構,可以實(shí)現這兩部門(mén)氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預熱加溫,里面的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度,此時(shí)通過(guò)毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門(mén)氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響,將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板,經(jīng)由放大后輸出,就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動(dòng)控制功能,把傳感器測得的流量檢測信號與用戶(hù)給出的設定信號進(jìn)行比較,以此為基礎控制調節閥,使得流量檢測信號與設定信號相等,這樣便實(shí)現了MFC的功能。
質(zhì)量流量控制器能用比例閥代替嗎?
不可以的,一般我們常說(shuō)的比例閥就是電磁調節閥,雖然可以起到一定的流量調節作用,但無(wú)法做到準確,穩定的流量控制,而氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)是在電磁調節閥的基礎上增加了控制電路和流量檢測傳感器和比例分流,是可以實(shí)現準確、穩定的流量控制,并且可以將流量信號穩定持續輸出成電壓信號或電流信號,比例閥根本滿(mǎn)足不了MFC能起到的作用。
氣體質(zhì)量流量控制器對于氣體的要求
1,氣體必須潔凈且沒(méi)有顆粒物, 沒(méi)有液體, 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過(guò)濾器。
2,輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標準, 不能超過(guò)該產(chǎn)品要求的較大壓力。
3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶(hù)訂貨選擇的密封材料相適應, 用戶(hù)有責任按照可用的安全規章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會(huì )使保修無(wú)效,還容易產(chǎn)生危險。